被Pt电极包覆的基板被放置于大气气氛下，与存在于空气中的成分接触，并将这些成分吸附在表面上。为了从基板表面脱附这些成分，预先烘干该基板。预先烘干是在后述的烧成工序中进行的烘干之前进行的。本发明的基板的预先烘干如下进行，即 在大气气氛下，以200 °C以上，优选以200°C以上且400 °C以下的温度，1分钟以上，优选1分钟以上且5分钟以下的时间，将大气中的基板载置于加热板上、或者投入到电炉等。若在上述 温度及时间的范围内进行预先烘干，则吸附于基板表面的Η2、Η20及⑶脱附，出量会落入1.0 X 10_1()g以下的范围，H2O量会落入2.7 Xl(T1()g以下的范围，CO量会落入4.2 X l(T1()g以下的范围。若在该状态下将LaNiO3薄膜形成用液体组合物涂布于基板表面，则由于基板表面的H 2量、H2O量及CO量较低，会引起液体组合物中的水溶性成分的溶剂在基板表面上表面张力变小的现象，从而均匀地涂布液体组合物。另一方面，预先烘干温度及时间小于上述下限 值时，由于吸附于基板表面的H2量、H2O量及CO量没有落入上述范围，若在该状态下将LaNiO3薄膜形成用液体组合物涂布于基板表面，则不会引起上述现象。不能均匀地涂布液体组合物，并在涂膜中产生针孔。将上述预先烘干温度的优选的上限值设为400°C，将预先烘干时间的优选的上限值设为5分钟以下是因为，分别超过上限值，上述脱附效果 也不会改变，反而会浪费热能。吸附于基板表面的H2量、H2O量及CO量越少越优选，但极 度减少基板表面的H2量、H2O量及CO量会导致成本的增加。吸附于基板表面的H2量、H2O量及⑶量可分别设为2X10-12g以上、7.2X10-ng以上、1.2X 10-1Qg以上。并且，可以将吸附于基板表面的H2量、H2O量及CO量分别设为2 X 10-12~9 · 8 X 10-ng、7 · 2 X 10-11~2 · 5 X10-1Qg、 1.2 X 10-1(3~3.9 X 10-1Qg，但并不限定于此。
